ソリッドシャフトフェローシール

ソリッドシャフトフェローシールには、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプ、フランジ付タイプ、ヘビーデューティタイプと、幅広い用途に応じて機種が設定してあります。シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、キー溝機構を標準品として定めてあり、その他オプションとして、フラット面、ネジ付、及び穴付等の設定も可能です。当社のスタンダードフェローシールは、ミニチュアタイプあるいは、スルーホールタイプの一部を除き高温使用に対応できる水冷タイプもご用意しております。

ホローシャフトフェローシール

ホローシャフトフェローシールは、カートリッジ機構であり既存のシャフトに合体することができます。回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとはOリングによって静的にシールされ、クランプによってシャフトとスリーブは固定されます。

ホローシャフトフェローシールには、スルーホールタイプ、フランジタイプ、カンチレバータイプ（活性ガス対応）が設定してあります。その他オプションとしてシャフト固定用クランプのないタイプもご用意しております。

多機能フェローシール

フェローシールは、カスタム設計により、様々な用途への応用が可能です。

半導体プロセスにおけるウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構やリニアモーション対応の他、更には10^-6Paの超高真空プロセスにも対応可能なフェローシールもご用意しております。

フェローシールは、シャフトの廻りを『磁性流体』で取り囲まれています。これによりガス・蒸気・霧・微細粒子に対してハーメティックシールを形成します。

シールされた雰囲気からの漏れは、ヘリウムリークディテクタの最高感度(当社Heリークディテクタにて10^-12Pam³/sec以下)でテストしても検出されません。

「流体Oリング」は、不活性で安定した蒸気圧の低い磁性流体により形成されています。10年以上もの間、メンテナンスフリーで運転中の機器も多くあります。

フェローシールは、シンプルな磁気回路と低蒸発量の磁性流体で構成されています。ベアリングの寿命がシールの寿命といわれる理由です。

フェローシールは、劣化しないため、汚染粒子によるシステム機能の低下は起こり得ません。加えて低い蒸気圧のフェローフルイドは、10^-6Paの超高圧真空においてさえ、真空度を完璧に保持します。

シャフト1本でトルク伝達が行えます。これにより、100％のトルク伝達とバックラッシュのない同相動力伝達が行えます。

フェローシールは、非接触型シールであり、また、磁性流体の粘性抵抗は低く、動作は非常になめらかです。そのため、高速回転時においても安定した能力を発揮します。

当社では、あらゆる真空加工装置に対応する高品質なシールをご提供しています。フェローシールはソリッドシャフト・ホローシャフト・マルチプロセスの各タイプをご用意。また、フラット面・ねじ付・穴付などカスタマイズ加工を行うことで、お客様の製造環境に最適なシールをご提供しています。