CVD-SiC

炭化珪素Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide

三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、あらゆるフィールドで使用されております。

主な用途

  • ・超高温アニール装置用大型部材開発(ボート、ホルダ、ノズル)
    ・狭ピッチ膜単カセットボート開発
    ・超高純度SiCパウダー原料
    ・次世代ウェハ対応部材

特性表