Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空シール

Magnetic Fluid Seal

磁性流体シール(フェローシール)

多機能フェローシール

同軸3軸 リニアモーションタイプ

モデル CFF022NNタイプ
参考到達圧⼒ [Pa] 10-6
使⽤温度範囲 [℃] 室温〜80
使⽤雰囲気 活性ガス対応
ハウジング材質 SUS304
シャフト材質 SUS630
ベローズストローク 50mm
ベローズ繰り返し寿命 106以上
[特徴]
同軸3軸構造でありながら高い振れ、回転精度を実現する 高剛性タイプで
あり、更に50mmストロークのリニア モーションを可能にしたクラスターツールに最適のモデル。
[使用例]
300mmウェハー搬送またはLCD大型ガラス基板搬送真 空ロボット用途
性能値は、弊社によるテスト結果あるいは計算値であり、
保証値ではありません。