Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)
真空シール
Magnetic Fluid Seal
磁性流体シール（フェローシール）
多機能フェローシール
同軸2軸タイプ
| モデル | CFF012NNタイプ |
|---|---|
| 参考到達圧⼒ [Pa] | 10-6 |
| 使用温度範囲 [℃] | 室温〜80 |
| 使用雰囲気 | 活性ガス対応 |
| ハウジング材質 | SUS304 |
| シャフト材質 | SUS630 |
- [特徴]
- 高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ。
- [使用例]
- ウェハー搬送真空ロボット（スカラータイプ）用途
- 性能値は、当社によるテスト結果あるいは計算値であり、
保証値ではありません。