Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空シール

Magnetic Fluid Seal

磁性流体シール(フェローシール)

多機能フェローシール

ガズパージタイプ

モデル SFV020WCタイプ
参考到達圧⼒ [Pa] 10-6
使⽤温度範囲 [℃] 室温〜80
使⽤雰囲気 活性ガス対応
ハウジング材質 SUS304
シャフト材質 SUS630
[特徴]
パージガス機構をシールユニットに内蔵することで、プロセスガスのシー
ル部への流出を防止することにより、そのシール部近くでの析出物生成を
より少なくすること で長寿命を実現する。
[使用例]
腐食ガス、及び析出物を生成するCVD装置やファーネス用途
性能値は、弊社によるテスト結果あるいは計算値であり、
保証値ではありません。