Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空シール

Magnetic Fluid Seal

磁性流体シール(フェローシール)

多機能フェローシール

高真空対応タイプ

モデル SCV012WCタイプ
参考到達圧⼒ [Pa] 10-7
使⽤温度範囲 [℃] 室温〜80
使⽤雰囲気 不活性ガス対応
ハウジング材質 SUS304
シャフト材質 SUS630
[特徴]
  • 1. UHV対応磁性流体を使⽤し、耐⾼温性と低蒸気圧性を両⽴。
  • 2. 差動排気室とメインチャンバーの間は極小のコンダクタンスで仕切られ、ベーキングによる脱ガス、アウトガス等は排気され、メインチャンバーの汚染を防止。
  • 3. ベーキング条件はTMPと同程度であり、比較的容易。
  • 4. 10-7 Pa台の真空度であれば、差動排気系と主排気系を同一にすることが可能。
  • 5. シールユニットは一体型でサブ排気ポートが付属しているだけのシンプル構造のため、装置全体をコンパクトに設計可能。
[使用例]
超高真空プロセス対応装置用途
性能値は、弊社によるテスト結果あるいは計算値であり、
保証値ではありません。