ファインセラミックス

アルミナAlumina

エンジニアリングセラミックスの中で最も幅広く利用されているセラミックスであり、高い電気絶縁性、耐摩耗性、耐食性を示すとともにコストパフォーマンスにも優れます。
当社では主成分99.99%以上の高純度グレードやプラズマ耐性の高いグレードなどを取り揃えております。

ファインセラミックスには、耐熱、耐食、耐摩耗、絶縁、高剛性等さまざまな特徴がありますので、お客様のニーズに応じて、適切な材料をご提案します。

主な用途

  • ・半導体製造装置のチャンバー内部品
  • ・ウエハ搬送部品
  • ・液晶製造装置用部品
  • ・各種耐熱・絶縁部品

特性表