ファインセラミックス

窒化アルミAluminium Nitride

窒化アルミセラミックスの最大の特徴はその高い熱伝導性にあります。また、高いフッ素プラズマ耐性やシリコン(Si)に近い熱膨張係数を示すなどユニークな特性もあわせもちます。 それらの特性を活かして放熱性を要する部品や半導体製造装置の耐プラズマ性部品など多くの用途に用いられております。 当社では高熱伝導グレードと高純度グレードを用意いたしております。

主な用途

  • ・半導体製造装置のチャンバー内部品
  • ・放熱性基材

特性表