ファインセラミックス

低熱膨張Low Coefficient of Thermal Expansion

低熱膨張セラミックスは常温下でゼロ膨張を示す材料であり、最も軽量なエンジニアリングセラミックスのひとつです。そのユニークな特性を活かして半導体製造装置や精密機器の部品などに多く用いられています。

主な用途

  • ・半導体製造装置用部品
  • ・精密機械用部品

特性表