ファインセラミックス

窒化珪素Silicon Nitride

高強度、高靭性なセラミックスであり、高温特性や耐熱衝撃性に優れます。高負荷、高温環境など厳しい使用条件にも耐えうる材料です。 当社の窒化珪素セラミックスは半導体製造装置や一般産業機械向けに広く採用されております。

主な用途

  • ・半導体製造装置用部品
  • ・一般産業機械用部品
  • ・耐熱部品

特性表