Quartz Products

石英製品

Quartz Products

Ferrotecの精密クォーツ製造

Ferrotecは、半導体、光学、およびその他の最先端の産業用アプリケーション向けにさまざまな石英製品を提供しています。世界クラスの製品品質と競争力のある価格を備えたFerrotecは、大量の精密石英製造要件を提供できる立場にあります。

材料

Ferrotecは主にMomentiveを使用しており、世界で最大のMomentive認定ファブリケーターの1つです。124、214(標準品)、224(低アルカリ品)および144、244(低アルカリ、低アルミニウム品)材料を含む、いくつかの異なるグレードの石英が利用可能です。透明な溶融材料と不透明材料の両方を使用できます。Ferrotecは、大手の加工業者として、Saint Gobain、Heraeus、Tosohなどからの素材も調達しています。
高品質の材料と製造プロセスを幅広く提供することで、私たちはお客様のすべての石英製造ニーズに対応することができます。既存の設計図を製造したり、設計段階で支援して、お客様の水品晶製品がお客様の厳しい技術要件を確実に満たすようにすることができます。

Ferrotecが製造する製造石英製品の例には次のものがあります。

  • Windows
  • Liners
  • Insulators
  • Tubes
  • Cleaning basins
  • Pedestals
  • Tanks
  • Injectors
  • Covers
  • Rings
  • Bell jars
  • Boats

品質管理体制

高品質・高精度製品を安定供給

1987年の操業以来、高度な加工技術と三次元測定機などを用いた確かな品質管理を培い、20数年の実績を積み重ねてきました工場は、ISO9002の認証を取得し、超純粋シャワー洗浄室、梱包用防塵室のほか、石英素材の組立、溶接、焼上など各工程に最新鋭の設備を配置。全工程で実施する品質管理より、世界品質を保証する生産体制を確立しています。

R&D体制

次世代を見据えたR&Dを推進

シリコンウェハーは、8インチから12インチへと移り変わりつつあります。R&Dグループでは、こうした流れをいち早く捉え、業界に先駆けて独自技術を駆使した12インチ関連石英製品の開発を進めています。フェローテック中国(杭州、常山、東台工場)、およびフェローテックアリオン山形工場では、クリーンルームを備えた12インチの一貫生産工場として稼働。さらにナノテクノロジーへの対応を進めるなど、次世代を見据えた取り組みを積極的に推進しています。

石英製品の事例

CVD装置

CVDは化学気相成長と呼ばれる薄膜製膜技術の一つです。加熱された基板に製膜を行いたい成分を含むガスを供給し、基板表面における化学反応により膜を堆積させます。

エッチング装置

エッチングとは薬液や反応ガスの腐食作用を利用した表面加工方法です。半導体製造においてはウェーハにパターン形成する際の薄膜除去方法として使用されます。ガスをプラズマ化し加速したイオンと化学反応で削るドライエッチングと、酸やアルカリの腐食作用を利用するウェットエッチングがあります。

生産拠点

    1. 杭州 第一工場
    2. 杭州大和熱磁電子有限公司
    3. 浙江省杭州市濱江区濱康路777号
    1. 杭州 第二工場
    2. 杭州大和熱磁電子有限公司
    3. 浙江省杭州市濱江区濱康路668号
    1. 東台
    2. 江蘇富楽徳石英科技有限公司
    3. 江蘇省東台市城東新区鴻達路18号
    1. 常山
    2. 浙江先導精密機械有限公司
    3. 浙江省衢州市常山県新都工業園区龍江路7号
    1. 山形
    2. フェローテック・アリオン株式会社
    3. 山形県山形市松栄1-1-58