Silicon Parts

シリコンパーツ

SiFusion Polysilicon Boats

SiFusion ポリシリコンボート

石英およびSiCボートの高純度化、高性能化が可能なテクノロジー

拡散炉プロセス用に設計されたSiFusionポリシリコンボートは、既存の石英およびSiCボートの高純度で高性能な置き換えが可能な技術です。それらはパーティクルと結晶欠陥スリップの低減に寄与いたします。歩留まりの向上に対するこれらの障壁を取り除くことで、SiFusionボートは新しいICアーキテクチャにとって不可欠なツールになります。
SiFusion製品ラインナップには、縦型炉のすべての主要な炉モデルのボートのデザインが含まれています。