Silicon Parts

シリコンパーツ

SiFusion Polysilicon Injectors

SiFusion ポリシリコンインジェクター

石英ならにびSiCより優れたパフォーマンス

SiFusionポリシリコンインジェクターは、拡散炉やLP-CVDプロセスにプロセスガスを供給する炉内の冶具として機能します。
機械的強度が高く、1350°Cまでの温度で塑性変形しないため 、SiFusionインジェクターは、現在の石英およびSiCより優れた代替品です。

SiFusionインジェクター

  • インジェクターの突発性パーティクルのバーストを改善
  • 高温での変形ならびに、破損することが無い
  • お客様の仕様に合わせて構成が可能となります
  • IR透過性-サーマルシャドウイングを低減
  • PMサイクルの長寿命化