Silicon Parts

シリコンパーツ

SiFusion Polysilicon Liners

SiFusion ポリシリコンライナー

赤外線に透明

インジェクターおよびボートと併せて、SiFusionポリシリコンライナーは半導体炉の重要な要素です。ライナーは、入口から排気へのガスの流れに均一な経路を提供し、アウターチューブからのパーティクルが製品の歩留まりに影響を与えるのを防ぐバリアとして機能します。
通常、石英およびSiCは定期的にクリーニングする必要がありますが、SiFusionポリシリコンライナーは定期的なクリーニングを必要としません。