Quartz Crucible

石英坩埚

Quartz Crucible

石英坩埚

纯度高且耐热性强的石英坩埚在单晶硅的拉制过程中是必不可少的部件。石英坩埚的性能对单晶硅的成晶率有较大的影响,Ferrotec(中国)坩埚事业部一直围绕着如何提高客户的成晶率不断的进行技术革新,也取得了很大的突破。为了满足不同客户的多样性生产需求,我司研发出四大系列石英坩埚,应对客户不同的拉晶工艺。石英坩埚尺寸我们目前可覆盖14英寸到32英寸,并具备按照客户要求定制更大尺寸的技术能力。后工序加工我们历时三年开发出一套全自动化生产线,确保石英坩埚品质稳定。

产品系列

AQM-10系列

内壁含有透明层的天然石英坩埚

AQM-20系列

高纯天然石英坩埚,在AQM-10的基础之上增加高纯天然砂,内表面纯度较高

AQM-30系列

合成石英坩埚,内表面纯度更高,适用于高级别硅棒的拉制

AQM-40系列

内表面结晶化的天然石英坩埚,适应多次加料工艺,长时间使用。

产品尺寸规格

项目/Item 16” 18” 20” 22” 24” 26” 28” 32”
外径
Outer diameter
(mm)
D1 404±2 457±3 507±3 556±3 611±3 656±3 705±3 810±3
D2 404±2 457±3 507±3 556±3 611±3 656±3 705±3 810±3
厚度
Thickness
(mm)
T1、T2 8.5±2 9±3 10(-2/+3) 11(-2/+3) 11(-2/+3) 12(-2/+3) 13(-2/+3) 16±4
TR 8.5±2 10±2 11(-2/+3) 12(-2/+3) 12(-2/+3) 12(-2/+3) 13(-2/+3) 23±5
TB 8.5±2 10±2 11(-2/+3) 12(-2/+3) 12(-2/+3) 12(-2/+3) 13(-2/+3) 16±4
真空透明層
Vacuum transparent
layer
(mm)
W ≧2.5 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0
R ≧2.5 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0
B ≧2.5 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0
R形状
R shape
R1 90 120 90 110 120 120 120 160
R2 406 500 508 558 610 660 711 810

⽣产基地

    1. 银川
    2. 宁夏富乐德石英材料有限公司
    3. 银川市西夏区银川经济技术开发区光明西路25号