CVD-SiC

CVD-SiC

Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide

碳化硅

用三井造船独自研发的CVD-SiC生产的ADMAP的SiC产品,具备超高纯度·高耐腐蚀·高耐氧化性·高耐热性·高耐摩耗性的特性,产品被广泛应用于各个领域。

主要用途

  • ・用于超高温退火装置大型部材开发(珪舟、刀柄、喷嘴)
  • ・开发窄间距卡式碳化珪舟
  • ・超高纯度SiC粉末原料
  • ・新一代硅片部件

特性表