Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空密封传动装置

Magnetic Fluid Seal

磁性流体密封传动装置（Ferro真空产品）

多功能密封传动装置

三重轴直线动向型

产品型号 CFF022NN型
参考达到压力 [Pa] 10-6
使⽤温度范围 [℃] 室温〜80
使用环境 可对应活性气体
壳体材质 SUS304
轴材质 SUS630
波纹管行程 50mm
波纹管重复使用寿命 106以上
[特征]
虽然是同轴3轴构造的高刚性型，但也能轻松实现高振动、高精确旋转。
不仅如此它还是实现了50mm的线性运动，是自动组合装置的最佳选择。
[使⽤实例]
适用于300mm晶圆搬运或者LCD大型玻璃基板搬运真空机器人
性能值是我公司的测试结果或者是通过测试计算得出的数值，
并非保证值。