Silicon Parts

硅胶零件

SiFusion High Tempter Anneal Polysilicon Boats

SiFusion 高温退火舟

红外线的穿透性

SiFusion产品比石英和SiC产品具有优势

  • 因具有与晶圆片相同的热膨胀系数(CTE),因此消除了在装卸舟时温度升高时所出现的膜的热膨胀差异,消除了膜应力的不利影响。在高温处理中,减少了因打滑导致的晶片背面上的划痕。
  • 与SiC产品不同,由于内部是高纯度多晶硅,即使表面有划痕或碎屑因为没有杂质、也可以使用。
  • 如果接头跟底部有损坏,可透过更换零件进行修理,无需丢弃整个接头。