Silicon Parts

硅胶零件

SiFusion Polysilicon Boats

SiFusion多晶硅舟

可实现石英和SiC舟的高纯度和高性能的技术

SiFusion多晶硅舟是专为扩散炉工艺而设计,可與现有石英和SiC舟在維持高纯度,高性能的替代技术。有助于减少颗粒和晶体缺陷滑移。消除障碍得以提高产量,SiFusion舟是新一代IC架构的必备的工具。SiFusion产品线包括适用于所有主要立式炉型号的舟形状设计。