Silicon Parts

硅胶零件

SiFusion Polysilicon Injectors

SiFusion多晶硅噴射管

性能优于石英和SiC

SiFusion多晶硅注入器在熔炉中充当夹具,用于向扩散炉和LP-CVD工艺供应工艺气体。
由于具有很高的机械强度并且在高达1350°C的温度下不会发生塑性变形,SiFusion喷油器是当前石英和SiC的更好替代品。

SiFusion噴射管

  • 改善喷射器突发性粒子的爆发
  • 不会在高温下变形或损坏
  • 可根据客户的规格进行构成
  • IR透明度-降低热保护
  • 保养周期的寿命延长