Silicon Parts
SiFusion Polysilicon Injectors
性能优于石英和SiC
SiFusion多晶硅注入器在熔炉中充当夹具,用于向扩散炉和LP-CVD工艺供应工艺气体。由于具有很高的机械强度并且在高达1350°C的温度下不会发生塑性变形,SiFusion喷油器是当前石英和SiC的更好替代品。
SiFusion噴射管