Silicon Parts

硅胶零件

SiFusion Polysilicon Liners

SiFusion多晶硅衬套

多晶衬套不需要定期清洁

与喷射管和舟一样,SiFusion多晶硅衬套也是半导体炉中的关键元素。衬套为气体从入口到排气的流动提供了均匀的路径,并充当了屏障,以防止来自外管的粉尘影响产品产量。
石英和SiC通常需要定期清洁,而SiFusion多晶硅衬套则不需要定期清洁。