Silicon Parts

硅胶零件

SiFusion Polysilicon Pedestals

SiFusion多晶硅底座

高纯度,高性能

SiFusion多晶硅底座是用作扩散和热处理过程中固定舟的夹具。跟所有SiFusion产品一样,这些底座是石英和SiC夹具的高纯度,高性能替代品。

SiFusion底座産品請参照下表

  • 在150 mm,200 mm和300 mm的立式熔炉的実績
  • 可根据客户要求自由设计沟槽数量,节距,长度等。
  • 本产品不会产生粉塵。
  • 不需要PM。