Silicon Parts

硅胶零件

SiFusion Polysilicon
Furnaceware

性能优于石英和SiC

  • iFusion多晶硅晶圆比石英和SiC等消耗品更具卓越性能。
  • 所有的SiFusion产品均由高纯度多晶硅材料制成,可以従纯度、低维护,成本和对环境的影响等用途上进行産品的选択。产品包括所有的200 mm和300 mm立式炉应用的组件。
  • SiFusion炉具的设计和制造易于安装在包括东电(TEL),KE,Avisa和ASM在内的所有主要OEM炉的热区中。