Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空密封传动装置

Magnetic Fluid Seal

磁性流体密封传动装置（Ferro真空产品）

多重轴向軸承

二重轴型

产品型号 CFF012NN型
耐真空度 [Pa] 10-6
使⽤温度范围 [℃] 室温〜80
使用环境 可对应活性气体
壳体材质 SUS304
轴材质 SUS630
[特征]
能实现高振动、高精确旋转的小型轻量型。
[使⽤实例]
适用于晶圆搬运真空机器人（Scara型）
性能值是我公司的测试结果或者是通过测试计算得出的数值，
并非保证值。