Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空密封传动装置

Magnetic Fluid Seal

磁性流体密封传动装置（Ferro真空产品）

多功能密封传动装置

气体净化型

产品型号 SFV020WC型
参考达到压力 [Pa] 10-6
使⽤温度范围 [℃] 室温〜80
使用环境 可对应活性气体
壳体材质 SUS304
轴材质 SUS630
[特征]
通过把气体净化构造内藏在密封单元中，从而防止工业废气流入密封部，进而可以减少密封部周围析出物的生产，来实现长寿效果。
[使⽤实例]
适用于腐蚀气体以及会生成析出物的CVD装置、熔炉
性能值是我公司的测试结果或者是通过测试计算得出的数值，
并非保证值。