CVD-SiC
CVD-SiC
Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide
炭化珪素
30年以上にわたり培ってきた独自のCVD-SiCで製作された当社*のSiC製品は、超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、あらゆるフィールドで使用されております。
* CVD-SiC製品に長らく携わってまいりました株式会社アドマップは2020年、株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズに合併・社名変更となり、CVD-SiC事業の全てを当社へ継承しています。
主な用途
- ・超高温アニール装置用大型部材開発（ボート、ホルダ、ノズル）
・狭ピッチ膜単カセットボート開発
・超高純度SiCパウダー原料
・次世代ウェハ対応部材
特性表
