Super Machinable Ceramics

スーパーマシナブルセラミックス

Machinable Mica

マイカ系マシナブル

優れた機械加工性を実現し、短納期で高精度・高品質の製品を提供します。

機械加工が容易に行えるセラミックスであり、ダイヤモンド工具はもちろん、一般の超硬工具によるさまざまな精密加工が可能です。半導体・液晶製造用部品や検査治具は、少量多品種にわたり、また設計から試作までのリードタイムの短縮が要求されるなか、マシナブルセラミックスは精密加工・短納期、更に熱特性、光学特性、電気特性にも優れた特長を生かし、これらの分野に幅広く使用されてきております。

主な用途

  • ・半導体製造装置用部品
  • ・半導体検査装置部品
  • ・レーザー装置部品
  • ・真空装置部品
  • ・薄膜成膜装置部品
  • ・リニアモーター部品
  • ・液晶製造装置部品
  • ・吸着装置部品
  • ・位置決め装置部品
  • ・各種センサー部品
  • ・分析装置部品
  • ・超音波診断装置部品
  • ・各種断熱部品
  • ・各種絶縁部品
  • ・各種分析装置用絶縁部品
  • ・基盤・位置決め治具
  • ・半田付け用治具
  • ・集光用部品 他

特性表