Fine Ceramics

精密陶瓷组件

Aluminium Nitride

氮化铝

氮化铝陶瓷最大特点在于热传导性。
此外该材料还具有独特的性能,例如高耐氟等离子体性和和与硅(Si)相似的膨胀系数。
我们提供高导热和高纯度等级的散热组件在许多应用中,以及半导体制造设备的耐等离子组件。

主要用途

  • ・半导体制造装置腔内部件
  • ・散热基板

特性表