Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空シール

Magnetic Fluid Seal

磁性流体シール(フェローシール)

製品ラインナップ

ソリッドシャフトフェローシール

ソリッドシャフトフェローシールには、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプ、フランジ付タイプ、ヘビーデューティタイプと、幅広い用途に応じて機種が設定してあります。シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、キー溝機構を標準品として定めてあり、その他オプションとして、フラット面、ネジ付、及び穴付等の設定も可能です。当社のスタンダードフェローシールは、ミニチュアタイプあるいは、スルーホールタイプの一部を除き高温使用に対応できる水冷タイプもご用意しております。

ホローシャフトフェローシール

ホローシャフトフェローシールは、カートリッジ機構であり既存のシャフトに合体することができます。回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとはOリングによって静的にシールされ、クランプによってシャフトとスリーブは固定されます。

ホローシャフトフェローシールには、スルーホールタイプ、フランジタイプ、カンチレバータイプ(活性ガス対応)が設定してあります。その他オプションとしてシャフト固定用クランプのないタイプもご用意しております。

多機能フェローシール

フェローシールは、カスタム設計により、様々な用途への応用が可能です。

半導体プロセスにおけるウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構やリニアモーション対応の他、更には10-6Paの超高真空プロセスにも対応可能なフェローシールもご用意しております。

特徴

ハーメティックシーリングが可能

フェローシールは、シャフトの廻りを『磁性流体』で取り囲まれています。これによりガス・蒸気・霧・微細粒子に対してハーメティックシールを形成します。

測定不能な漏れを防止

シールされた雰囲気からの漏れは、ヘリウムリークディテクタの最高感度(当社Heリークディテクタにて10-12Pam3/sec以下)でテストしても検出されません。

ロングライフ

「流体Oリング」は、不活性で安定した蒸気圧の低い磁性流体により形成されています。10年以上もの間、メンテナンスフリーで運転中の機器も多くあります。

高信頼性

フェローシールは、シンプルな磁気回路と低蒸発量の磁性流体で構成されています。ベアリングの寿命がシールの寿命といわれる理由です。

汚染なし

フェローシールは、劣化しないため、汚染粒子によるシステム機能の低下は起こり得ません。加えて低い蒸気圧のフェローフルイドは、10-6Paの超高圧真空においてさえ、真空度を完璧に保持します。

最適トルク伝達

シャフト1本でトルク伝達が行えます。これにより、100%のトルク伝達とバックラッシュのない同相動力伝達が行えます。

優れた高速回転能力

フェローシールは、非接触型シールであり、また、磁性流体の粘性抵抗は低く、動作は非常になめらかです。そのため、高速回転時においても安定した能力を発揮します。

ご購入までの流れ

当社では、あらゆる真空加工装置に対応する高品質なシールをご提供しています。フェローシールはソリッドシャフト・ホローシャフト・マルチプロセスの各タイプをご用意。また、フラット面・ねじ付・穴付などカスタマイズ加工を行うことで、お客様の製造環境に最適なシールをご提供しています。

お問い合わせ

お客様の応用目的の確認

  • ●酸化・拡散装置
  • ●スパッタリング装置
  • ●イオン注入装置
  • ●ドライエッチング装置
  • ●各種CVD装置
  • など

使用環境諸条件の確認

  • ●ご希望のシャフト径
  • ●チャンバー内の諸条件(真空管、耐圧、使用される雰囲気、湿度など)
  • ●物理的条件(荷重、トルク、回転数など)
  • ●外形寸法などの諸条件

シールの選定・新規設計・カスタマイズ対応

  • ●フラット面
  • ●穴付
  • ●ねじ付き
  • など

シール製作

最適なシールを提供