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参考到達圧⼒ [Pa]
10
-6
使用温度範囲 [℃]
室温〜80
使用雰囲気
活性ガス対応
ハウジング材質
SUS304
シャフト材質
SUS630
[特徴]
高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ。
[使用例]
ウェハー搬送真空ロボット(スカラータイプ)用途
性能値は、当社によるテスト結果あるいは計算値であり、
保証値ではありません。
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