マイカ系マシナブルMachinable Mica
ホトベール Photoveel
ホトベールと同等の快削性を持ち、低熱膨張と高反射率が特徴のマイカセラミックスです。
ガラス質をマトリックスとし、フッ素金雲母・ジルコニア微結晶を均一に析出させた緻密な複合マイカセラミックスで、電気絶縁性、耐熱性、断熱性に優れております。
主な用途
- ・半導体製造装置用部品
- ・半導体検査装置部品
- ・レーザー装置部品
- ・真空装置部品
- ・薄膜成膜装置部品
- ・リニアモーター部品
- ・液晶製造装置部品
- ・吸着装置部品
- ・位置決め装置部品
- ・各種センサー部品
- ・分析装置部品
- ・超音波診断装置部品
- ・各種断熱部品
- ・各種絶縁部品
- ・各種分析装置用絶縁部品
- ・基盤・位置決め治具
- ・半田付け用治具
- ・集光用部品 他
特性表
