Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)
真空シール
Magnetic Fluid Seal
磁性流体シール（フェローシール）
多機能フェローシール
同軸3軸 リニアモーションタイプ
| モデル | CFF022NNタイプ |
|---|---|
| 参考到達圧⼒ [Pa] | 10-6 |
| 使用温度範囲 [℃] | 室温〜80 |
| 使用雰囲気 | 活性ガス対応 |
| ハウジング材質 | SUS304 |
| シャフト材質 | SUS630 |
| ベローズストローク | 50mm |
| ベローズ繰り返し寿命 | 106以上 |
- [特徴]
- 同軸3軸構造でありながら高い振れ、回転精度を実現する 高剛性タイプで
あり、更に50mmストロークのリニア モーションを可能にしたクラスターツールに最適のモデル。 - [使用例]
- 300mmウェハー搬送またはLCD大型ガラス基板搬送真 空ロボット用途
- 性能値は、当社によるテスト結果あるいは計算値であり、
保証値ではありません。