Silicon Parts

シリコンパーツ

SiFusion High Tempter Anneal Polysilicon Boats

SiFusion 高温アニールボート

赤外線に透明

SiFusion製品は石英やSICの製品に対して多くの優位性を持ちます。

  • ウエーハ同じ熱膨張率(CTE)を持つため、ポートのロードアンロード時、及び昇障温時に起こる膜と下地の熱膨張の差を無くし、膜ストレスによる悪影響を無くす。高温処理においては、スリップの一因であるウエハ裏面の擦り傷を低減。
  • SiC製品と異なり、内部まで高純度ポリシリコンため、表面に傷や欠けが出来ても、不純物の問題が無いため使用可能。
  • 爪や足が破損した場合には、部品を交換することが出来るために、ポート全休を廃棄する必要がございません。