Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空密封传动装置

Magnetic Fluid Seal

磁性流体密封传动装置(Ferro真空产品)

产品列表

实心轴密封传动装置

我公司拥有多种实心轴传动装置,例如:微型、通孔型、法兰型、重负载型,可以依据各种用途设计不同机型。除小径的转轴外,转轴的动力装配部和用户安装部的形状有标准的键槽以外,还能根据用户的要求,设计、制造多重配合形式,如扁平面、螺纹连接、孔连接等。我公司的标准公制密封传动装置除了部分微型、通孔型以外,还具有可适用于高温场景的水冷型产品。

空心轴密封传动装置

空心轴密封传动装置是一个卡盒机构,它可以和既有的轴结合到一起。通过0型圈把转轴和密封装置轴套结合起来,形成静态密封状态,轴和轴套通过夹板固定。

空心轴密封传动装置有通孔型、懸臂型(针对活性气体)、法兰型等,其他也可以选择不使用固定夹板的类型。

多重轴向軸承

我公司Ferro真空装置根据客户要求设计,可广泛运用于各领域。

除了应用于半导体工艺中晶片搬运机器人的多轴构造遗迹线性运动以外,我公司还拥有可对应10-6Pa超真空工艺的Ferro真空密封产品。

特征

可形成密封圈

密封传动装置被磁性流体包围整个转轴,成为一个隔绝空气、水气、烟雾等元素的密封圈。

防止难以检测的泄漏

密封圈的泄漏微弱到无法检测。即便通过我公司氦气测漏议最高感度(我公司HE测漏议1*10-12Pam3/sec以下)测试,也检测不到泄漏。

寿命长

“ 液体O型密封圈”由一个稳定、不活性的低蒸汽压磁性流体构成,其装置可以长期使用10年无需维修。

可靠性高

密封圈由简单的永磁结构和低蒸发量的磁性流体构成,这就是轴承寿命等于密封寿命的秘密。

无污染

因为密封圈无磨损,没有微粒产生,降低了整个系统的污染。加上低蒸汽压密封圈可将超高压真空度控制在10-6Pa,从而维持完美的真空状态。

最佳的扭矩传递特性

仅一根轴就能完成扭矩传递。因此可以实现100%的扭矩传递以及保证无回流的同相动力传递。

优异的高速旋转能力

我司的密封传动装置属于非接触型密封。磁性流体粘滞阻力极低,动作非常顺滑。这决定了它高速旋转时依旧能稳定发挥功能。

目前的购入流程

我司为各类真空加工设备提供各类高质量密封产品。我司不仅拥有实心轴型、空心轴型、多轴型等的各种类型的密封传动装置,也承接扁平面、螺纹连接、孔连接等客户定制加工,为客户的制造环境提供最适合的密封产品。

咨询方式

确认客户的使用目的

  • ●氧化・扩散装置
  • ●离子注入装置
  • ●各类CVD装置
  • ●溅镀装置
  • ●干法刻蚀装置

确认使用环境等条件

  • ●客户要求轴直径
  • ●腔体内部的各种条件(真空管、耐压性、使用环境、湿度等)
  • ●物理条件(负荷、扭矩、旋转数等)
  • ●外形尺寸等各类条件

选择密封产品・设计新品・承接客户定制要求

  • ●扁平面
  • ●螺纹连接
  • ●孔连接

制造密封产品

提供最佳密封产品